平面度檢查儀采用掠入射光干涉原理，專注于高精密加工表面平面度快速測量評估，廣泛應用于航空航天，汽車工業噴油嘴行業，泵、閥門密封件表面，以及光學工程，激光工程等領域。
機械平面度的測量方法有使用表面輪廓儀、準直儀、高度表、三坐標測量機等設備來進行的，這些設備在測量平面度時，往往只能放映局部的偏差；而且測量工作煩瑣，設備的投入成本高，對操作人員的經驗和知識也要求較高。
對平面度檢測的要求很高，使用前要測量平面度是否達到國家的標準，檢測合格后才能夠投入使用，一般的檢測方法有以下三種：
1.計算法
應用計算公式獲得平面度誤差值，該法有計算準確的優點，但需事先判準高低點，否則將造成計算錯誤或影響其計算準確度。用計算法獲取鑄鐵平臺對角線法原始數據的方法對角線法是以對角線平面為理想平面評定平面度的一種數據算得方法。數據處理是將水平儀或自準直儀得到的截面各點相對于該截面兩端點連線的直線度偏差值折合到對角線平面上，計算出相對于理想平面偏差。當按對角線原則評定時，則取其大偏差于小偏差的代數差為所求平面度誤差值；當按小條件原則評定時，則將計算出相對理想平面的偏差作為對角線法的原始數據。
2.旋轉法
旋轉法是將測基面經過適當變換（旋轉或平移），使測量基面和評定基面重合，獲得符合小條件的位置，通過測量數據的交換獲取平面度誤差。該法不需使用繪圖或計算工具，有簡便易行的優點，具體操作時常需做多次旋轉，對不熟練者效率不高。但該法是基本的方法，只要掌握旋轉要領，終必能達到目的。
3.圖解法
圖解法是一種幾何作圖求解法。它是以各測點的測量值按比例在進角坐標系上描點，用作圖方式從坐標圖上量取平面度偏差值。它有簡單、直觀的優點，但該法需用坐標紙準確作圖，且有作圖誤差，適合現場使用。
